独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术(下) AITranslate
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独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术(下)李汉广(中南工业大学长沙410083)3掌握了产品沉积结构的变化规律和优化条件难熔金属氟化物氢还原气相沉积时,可能得到五种类型的沉积结构(图8):a.树脂状结构;b.佳状结构;C.细晶结构:d.层状结构...
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DOI:
Chinese Library Classification Number:TF841.032[冶金工程—有色金属冶金]
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独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术(下)李汉广(中南工业大学长沙410083)3掌握了产品沉积结构的变化规律和优化条件难熔金属氟化物氢还原气相沉积时,可能得到五种类型的沉积结构(图8):a.树脂状结构;b.佳状结构;C.细晶结构:d.层状结构...
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| GB/T 7714-2015 | [1] LI Han-guang. Rare Metals and Cemented Carbides, 1995(1): 48-51. |
| MLA | [1] LI Han-guang. Rare Metals and Cemented Carbides, no. 1, 1995, pp. 48-51. |
| APA | [1] LI Han-guang. (1995). Rare Metals and Cemented Carbides(1), 48-51. |
| IEEE | [1] LI Han-guang, Rare Metals and Cemented Carbides, no. 1, pp. 48-51, 1995. |
