用气相沉积法制取钨制品 AITranslate
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六氟化钨氢还原沉积钨,即气相沉积钨是钨冶炼中的一项先进技术.利用气相沉积法已制取了各种钨制品.文中介绍了用气相沉积法制取钨制品的工艺与设备,讨论了影响生产过程和制品质量的因素,论述了制得的制品的结构与性能,并指出了这种方法的应用前景.
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DOI：
Chinese Library Classification Number:TF841.104[冶金工程—有色金属冶金]
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六氟化钨氢还原沉积钨,即气相沉积钨是钨冶炼中的一项先进技术.利用气相沉积法已制取了各种钨制品.文中介绍了用气相沉积法制取钨制品的工艺与设备,讨论了影响生产过程和制品质量的因素,论述了制得的制品的结构与性能,并指出了这种方法的应用前景.
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| GB/T 7714-2015 | [1] LI Mu-shan. Rare Metals and Cemented Carbides, 1990(1): 53-56. |
| MLA | [1] LI Mu-shan. Rare Metals and Cemented Carbides, no. 1, 1990, pp. 53-56. |
| APA | [1] LI Mu-shan. (1990). Rare Metals and Cemented Carbides(1), 53-56. |
| IEEE | [1] LI Mu-shan, Rare Metals and Cemented Carbides, no. 1, pp. 53-56, 1990. |