Fluorides CVD Methods for Refractory Metal In CIS Countries (Ⅰ) AITranslate
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This paper reviews fluorides CVD methods for refractory metals in CIS countries, including modern development of the equipment and products.
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DOI:
Chinese Library Classification Number:TF841.032[冶金工程—有色金属冶金]
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This paper reviews fluorides CVD methods for refractory metals in CIS countries, including modern development of the equipment and products.
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| GB/T 7714-2015 | [1] LI Han-guang. Fluorides CVD Methods for Refractory Metal In CIS Countries (Ⅰ)[J]. Rare Metals and Cemented Carbides, 1994(4): 59-62. |
| MLA | [1] LI Han-guang. "Fluorides CVD Methods for Refractory Metal In CIS Countries (Ⅰ)." Rare Metals and Cemented Carbides, no. 4, 1994, pp. 59-62. |
| APA | [1] LI Han-guang. (1994). Fluorides CVD Methods for Refractory Metal In CIS Countries (Ⅰ). Rare Metals and Cemented Carbides(4), 59-62. |
| IEEE | [1] LI Han-guang, "Fluorides CVD Methods for Refractory Metal In CIS Countries (Ⅰ)," Rare Metals and Cemented Carbides, no. 4, pp. 59-62, 1994. keywords: {CIS countries, refractory metal,fluoride, CVD} |
